光聲光譜微量多氣體分析儀基于紅外光聲光譜技術，擁有脈沖紅外光源，通過窄帶光學濾波片，形成中紅外區10個光譜波段，用于氣體分析；超高靈敏度基于擁有增強懸臂梁光學麥克風技術。

多組分分析

高靈敏度可通過10種光學窄帶濾波片實現，極窄的光學濾波可去除背景氣體的干擾；多個光譜區域可有利于小的交叉靈敏度。對采樣響應結果按照改進的經典小二乘法進行數據校準。

光聲光譜技術可實現短光路光程的高靈敏度測量，更進一步提高了新穎的基于模型的非線性補償技術，可實現寬量程可達5級的線性動態量程比。

可測氣體

• 烴類：CH4、C2H6、C2H2、C2H4等

• 無機氣體： CO2、CO、N2O、SO2、NO、NO2, NH3、NF3、SF6、H2O等

• 揮發性有機物VOCs：丙酮、乙醇、甲醇、苯、 甲苯、二甲苯等

• 氟利昂（CFCs）及 全氟化碳（PFCs）: CF4、 C2F6、R-134a、R13等

• 腐蝕性氣體：HF、HCl、HCN等

光聲光譜微量多氣體分析儀技術

• 帶有增強懸臂梁光學麥克風的紅外光聲光譜技術

• 電子脈沖紅外光源

• 鍍金采樣氣室恒定溫度50°C

• 超靈敏的基于MEMS懸臂梁傳感器光學麥 克風，耦合激光干涉測量懸臂梁微觀移動

• 19"3U工業機箱，適用于全部臺式或機架固定安裝

• 內置帶有5.7"前置顯示器的嵌入式計算機 可設置氣體報警閾值

• 數據存儲約2GB，連續存儲9種氣體可達1年

• 測量結果可以通過USB口，Ethernet網 口，串口導出

• 后面板有四路氣體連接口，兩路為采樣接口， 配有粉塵顆粒物過濾器；

• 自動補償溫度、壓力等變化工況的干擾

• 自動去除包括水汽、顆粒物等采樣氣體的干擾