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空氣分子污染物監(jiān)測集成了多點(diǎn)監(jiān)測系統(tǒng)

更新時(shí)間:2024-07-18點(diǎn)擊次數(shù):1058
  空氣分子污染物對于高科技生產(chǎn)過程是關(guān)鍵性因素,特別是微電子行業(yè),有機(jī)污染物是生產(chǎn)過程中的消極因素,會導(dǎo)致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問題而產(chǎn)生的成本增加。無空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標(biāo),通過污染物源頭控制、傳播控制,實(shí)時(shí)監(jiān)控污染物濃度并結(jié)合多級過濾器以及新風(fēng)系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn),持久監(jiān)測AMC濃度,有助于掌握污染物源頭、穩(wěn)定生產(chǎn)、預(yù)防過濾器突發(fā)性壽命減少等。

  空氣分子污染物監(jiān)測集成了多點(diǎn)監(jiān)測系統(tǒng),可依序?qū)怏w抽送到分析儀或傳感器,并讀出測量結(jié)果。儀器基于腔增強(qiáng)吸收光譜技術(shù),極簡使用、便捷操作,所有部件(包括內(nèi)置真空泵、鍵盤、鼠標(biāo)、顯示器等)幾分鐘內(nèi)可開始記錄數(shù)據(jù),其他大氣中的水汽、CO2、O2、甲烷等不會對HCL、HF、NH3等測量構(gòu)成交叉干擾。內(nèi)置計(jì)算機(jī)可以存儲大量數(shù)據(jù)到內(nèi)置硬盤上,可同過數(shù)字接口或者模擬接口傳輸數(shù)據(jù),可通過互聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程存儲或記錄數(shù)據(jù),高質(zhì)量的數(shù)據(jù)庫,適合于苛刻的半導(dǎo)體痕量級氣體應(yīng)用。
 
  空氣分子污染物監(jiān)測設(shè)備的工作原理:
  GC氣相色譜是分離多種復(fù)雜混合物常用的技術(shù),這種技術(shù)依賴于揮發(fā)性有機(jī)混合氣體在色譜柱的多組份分離。
  當(dāng)不同的揮發(fā)性有機(jī)物從色譜柱分離出來后通過氫氣/空氣火焰離子檢測器探測電導(dǎo)率的變化,從而確定不同組份的濃度,吹掃和載氣系統(tǒng)可使儀器達(dá)到sub-ppb檢測限。
 

 

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